こんにちは!産業容器のベインワークスです。
今日はぺリクルのニュースをご紹介します。
ニュースイッチ 2023年7月9日 (https://newswitch.jp/p/37640)
※画像は上記URLから引用
三井化学は旭化成からフォトマスク用防塵カバーのペリクル事業を買収し、新会社の三井化学EMSを設立したとのこと。
ペリクルは半導体や液晶パネルの露光工程でフォトマスクを保護する重要な製品です。
三井化学EMSはFPDペリクルで世界トップシェアを持ち、DUVペリクルでも高い評価を得ています。三井化学はペリクル事業の拡大に向けて新製品の開発や最先端技術の向上に努めるとしています。
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半導体製造プロセスに不可欠の部材であるぺリクルの製品力がますます強まることを期待します。
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産業容器のグローバルカンパニー VeinWorks/ベインワークス